Dans le dépôt de couches minces de semi-conducteurs-, votre cible de pulvérisation est aussi fiable que la plaque arrière qui la supporte. Que vous utilisiez des matériaux cibles en or, en argent ou en céramique, la plaque arrière doit agir comme un dissipateur thermique parfait et une base stable sous vide-.
Pour le dépôt physique en phase vapeur (PVD) à haute-puissance,C10100 Cuivre électronique sans oxygène-tel est le mandat de l’industrie. Rien de moins que99,99 % de puretéintroduit des variables catastrophiques dans la salle blanche -une surchauffe spécifiquement localisée et une contamination de la chambre.
Gestion thermique : prévenir la fissuration des cibles
La pulvérisation cathodique est un processus à haute-énergie qui génère une immense chaleur. Si la plaque arrière ne peut pas dissiper cette charge thermique instantanément, l'interface de liaison entre la cible et la plaque échouera ou, pire encore, la cible elle-même se fissurera.
NotreC10100 Plaque, Feuilleoffre une conductivité thermique d'environ391 W/m-K. Avec une garantieConductivité SIGC 101 %, C10100 assure un gradient thermique uniforme sur toute la surface cible. Cela évite les « points chauds » qui provoquent une -épaisseur de film non uniforme sur la plaquette de silicium-un défaut qui peut coûter des dizaines de milliers de dollars aux usines de fabrication de semi-conducteurs par lot.
Intégrité du vide : élimination du dégazage dans les chambres PVD
Le processus PVD fonctionne dans des conditions d'ultra-vide poussé (UHV). À ces pressions, même des traces d'impuretés volatiles dans le cuivre (comme le zinc, le plomb ou des niveaux élevés d'oxygène) « dégazeront ».
Parce que le C10100 de GNEE METAL contientMaximum 5 ppm d'oxygène, il est pratiquement inerte dans le vide. Contrairement au cuivre ETP standard, qui contient de l'oxyde cuivreux (Cu2O), notre qualité OFE garantit qu'aucun gaz piégé n'est libéré pour contaminer le plasma ou le film mince déposé.
Collage par diffusion et précision CNC
La plupart des cibles de pulvérisation cathodique sont liées à la plaque arrière du C10100 via une liaison par diffusion ou une soudure. Le succès de cette liaison dépend de la pureté chimique et de la planéité de la surface.
Zéro inclusion :L'absence d'oxydes dans le C10100 garantit une liaison plus forte et plus cohérente au niveau moléculaire.
Usinage de précision :Pour les géométries cibles personnalisées,Pièces usinées CNC personnaliséesfabriqués à partir de C10100 offrent une stabilité dimensionnelle supérieure. La ductilité élevée du matériau permet une intégration complexe des canaux de refroidissement dans la plaque arrière sans risque de fissuration par corrosion sous contrainte.
Si votre conception nécessite des géométries circulaires, nous fournissons égalementC10100 Barre ronde, carrée et platespécialement forgé pour les disques de support de cible, assurant une structure à grains fins qui favorise des taux de pulvérisation uniformes.
Téléchargez la fiche technique thermique et mécanique C10100 pour la conception PVD
Conforme à la norme ASTM F68 pour l'électronique
Tous les cuivres « 4N » (99,99 %) ne sont pas égaux. Pour les applications de semi-conducteurs, nous certifions notre matériel àSpécifications ASTM F68 et ASTM B170 Grade 1. Cela garantit que la granulométrie et la propreté métallurgique répondent aux exigences de « qualité électronique » auxquelles le cuivre industriel standard (même le C10200) ne peut pas répondre.
En choisissant le C10100, vous n’achetez pas seulement du métal ; vous sécurisez le rendement de votre processus de dépôt de couches minces-. Que vous approvisionniezFeuille C10100pour les pare-vapeur ou les plaques épaisses pour les assemblages cathodiques, GNEE METAL assure la traçabilité requise pour les chaînes d'approvisionnement de semi-conducteurs de niveau 1.
Demander un devis pour des plaques arrière pour semi-conducteurs-grade C10100
Gamme de produits GNEE MÉTAL
| Type de produit | Formes disponibles | Notes communes | Plage de diamètre/épaisseur | Plage de longueur/largeur | Applications |
|---|---|---|---|---|---|
| Tubes de cuivre | Rond, carré, rectangulaire, enroulé | C10100, C10200, C11000, C12200, C12000 | Diamètre extérieur : 0,5 mm - 300 mm Paroi : 0,1 mm - 20 mm | Jusqu'à 6000 mm ou personnalisé | CVC, plomberie, échangeurs de chaleur, réfrigération, conduites hydrauliques |
| Plaques et feuilles de cuivre | Feuilles plates, perforées, gaufrées, plaque de roulement | C10100, C11000, C12200, C23000, C26000 | Épaisseur : 0,1 mm - 200 mm | Largeur : Jusqu'à 2 500 mm Longueur : Jusqu'à 6 000 mm | Jeux de barres électriques, toiture, bardage, joints, transformateurs |
| Barres et tiges de cuivre | Barre ronde, barre carrée, barre hexagonale, barre plate | C10100, C11000, C14500, C17200, C18200 | Diamètre : 1 mm - 300 mm | Longueur : 1 000 mm - 4000 mm | Composants usinés, contacts électriques, barres omnibus, fixations |
| Fils de cuivre | Fil rond, fil plat, fil carré, toronné, tressé | C11000, C11600, C17200, C17510 | Diamètre : 0,05 mm - 12 mm | Poids des bobines : 1 kg - 500 kg | Câblage électrique, câbles, ressorts, treillis, fil de soudure |
| Bandes et bobines de cuivre | Bande mince, feuille, bobine fendue, bande profilée | C11000, C12200, C19400, C26000, C26800 | Épaisseur : 0,03 mm - 5 mm | Largeur : 2 mm - 1000 mm ID de bobine : 300 mm - 600 mm | Transformateurs, Radiateurs, Blindages, Bornes, Connecteurs |
À propos de notre usine
Nous exploitons une gamme complète de lignes de production, notammentpresses à extrusion, bancs d'étirage à froid, laminoirs-à grande vitesse, lignes de refendage et centres d'usinage CNC de précision, ce qui nous permet de produire entièrement en interne des tubes, plaques, barres, fils et bandes de cuivre. Pour l'assurance qualité, nous maintenons un service dédiélaboratoire d'inspection équipé d'analyseurs spectraux, de machines d'essais universelles, de duromètres, de rugosimètres et d'instruments de mesure optiques. Chaque lot est testé pour sa composition chimique, ses propriétés mécaniques et sa précision dimensionnelle avant expédition. Notre capacité de production atteint500+ tonnes par mois, et nous tenonsCertification ISO 9001 : 2015avec une traçabilité complète de la matière première au produit fini. Que vous ayez besoin d'un stock d'usine standard ou de composants traités-sur mesure, nous fournissons des produits en cuivre de précision avec des délais de livraison courts et une certification complète des matériaux.
Obtenez un devis rapide et un plan logistique
